臺(tái)面尺寸 | 60×60mm |
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手動(dòng)微調(diào)*小分辨率(參考值) | 20nm以下 |
微分頭*小讀數(shù) | 0.01mm |
微分頭的安裝位置 | 側(cè)面 |
扭矩剛度/俯仰 | 0.3″/N?cm |
扭矩剛度/轉(zhuǎn)動(dòng) | 0.25″/N?cm |
導(dǎo)軌形式 | TSD導(dǎo)軌 |
移動(dòng)精度/直線度 | 3μm |
移動(dòng)平行度 | 10μm |
行程/周 | 0.5mm |
*大承載力矩/俯仰 | 4.9N?m |
*大承載力矩/偏擺 | 4.9N?m |
*大承載力矩/轉(zhuǎn)動(dòng) | 4.9N?m |
自重 | 0.25kg |
主要材料 | 鋁合金 |
粗調(diào)行程 | ±6.5mm |
承載能力 | 49N(5kgf) |
微調(diào)行程 | 30μm以上 |
表面處理 | 黑色氧化 |
平行度 | 30μm |