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主營產(chǎn)品：代理銷售：HORIBA堀場(chǎng)橢圓偏振光譜儀、HITACHI日立科學(xué)儀器光譜儀、OTSUKA大塚電子、MIKASA勻膠機(jī)、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈、KOFLOC小島流量計(jì)、REVOX光箱、日本SSD防靜電、HITACHI日立金屬流量計(jì)、SIBATA柴田科學(xué)、日本ULVAC愛發(fā)科泵、CEDAR思達(dá)扭力計(jì)、TORAY東麗氣體濃度計(jì)、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、TOKYOKEISO東京計(jì)裝流量計(jì)、AND愛安德、RYUKI東京流機(jī)流量計(jì)、IMV愛睦威地震儀、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、MITAKA三鷹光器、日本KURABO倉紡濃度計(jì).

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產(chǎn)品類目

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SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)50nm分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)： NFS60-40X

產(chǎn)品品牌：SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)

產(chǎn)品介紹：

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 50nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。

詳細(xì)介紹

SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)50nm分辨率閉環(huán)控制平臺(tái) / NFS60-40X

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，經(jīng)CE和UKCA認(rèn)證。內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。
50nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。

由于采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，與壓電平臺(tái)相比，可移動(dòng)距離較長，有各種行程和臺(tái)面尺寸可供選擇。
從提高可用性的觀點(diǎn)出發(fā)，實(shí)現(xiàn)了基于AutoConfig功能的平臺(tái)分辨率自動(dòng)識(shí)別。
提供NFS系列閉環(huán)控制平臺(tái)用控制器SHRC-203。

※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動(dòng)設(shè)定分辨率。
※2 啟用多點(diǎn)糾錯(cuò)功能時(shí)的數(shù)值。
※3 在微小范圍內(nèi)進(jìn)行重復(fù)定位精度測(cè)量（ISO）所得到的結(jié)果。?NFS-X系列50nm閉環(huán)控制平臺(tái)測(cè)量步長（間距）：100nm

注意
請(qǐng)?jiān)跍囟茸兓炔淮蟮沫h(huán)境中使用。（推薦：23±1℃）
請(qǐng)盡量在振動(dòng)較小的環(huán)境中使用?；虿扇∫欢ǖ姆勒翊胧?。
請(qǐng)?jiān)跊]有油霧的環(huán)境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會(huì)產(chǎn)生誤差。

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使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 50nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 50nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。