※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動(dòng)設(shè)定分辨率。 ※2 啟用多點(diǎn)糾錯(cuò)功能時(shí)的數(shù)值。 ※3 在微小范圍內(nèi)進(jìn)行重復(fù)定位精度測(cè)量（ISO）所得到的結(jié)果。?NFS-UPX系列1nm閉環(huán)控制平臺(tái)測(cè)量步長(zhǎng)（間距）：5nm 注意 請(qǐng)?jiān)跍囟茸兓炔淮蟮沫h(huán)境中使用。（推薦：23±1℃） 請(qǐng)盡量在振動(dòng)較小的環(huán)境中使用?；虿扇∫欢ǖ姆勒翊胧?/span> 請(qǐng)?jiān)跊]有油霧的環(huán)境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會(huì)產(chǎn)生誤差。