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Otsuka大塚膜厚檢測儀
產品型號:嵌入式
產品品牌:Otsuka大塚
產品介紹:

產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(** 第4834847號) 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量

詳細介紹
嵌入式膜厚檢測儀

產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng) 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...




產品信息

  特 點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(** 第4834847號)

● 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、**性高的白色LED光源


  測量項目

● 多層膜厚解析


  用 途

● 光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

● FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)

單點型


● 半導體晶圓的面內分布測量

● 玻璃基板的面內分布測量

多點型


● 實時測量

● 流向品質管理

● 真空室適用

導線型


● 實時測量

● 寬度方向品質管理



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