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KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室
產(chǎn)品型號(hào):SEF580A-G18D臺(tái)階儀
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹

SEF580A-G18D

“表面粗さ”と“輪郭形狀”の2つの測定が可能です。タッチパネル採用で「測定條件の切り替え」等の操作性に優(yōu)れ、多種多様なワークの測定に素早く対応できます。

  • 表面粗さ測定
    • 1回の測定で規(guī)格が異なるパラメータの解析ができ、新しい規(guī)格への移行がスムースに行えます。
  • 輪郭形狀測定
    • X軸の*大測定サンプリング數(shù)が64,000點(diǎn)と多く、高分解能で長距離の測定が可能です。

表面粗さ

測定範(fàn)囲/分解能 Z:600μm/0.08nm
送り速さ 0.02~10mm/s
觸針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形狀

測定精度 Z:±0.25%(弊社規(guī)格)  X:±(1+0.02L)μm以下
L:測定長さ(mm)
測定範(fàn)囲 Z:50mm  X:100mm
觸針 R25μm  10~30mN


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。



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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

KOSAKA小壇輪廓儀

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KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

KOSAKA小坂傳感器

表面粗度測定機(jī):
SE300,SE500,SE600,SE610,SE600K,SE600K31
SE700.SE4000.
表面粗度,輪廓形狀測定機(jī):
SEF580-G18,SEF580--G18D,SEF580-M50,SEF580-M58,SEF580-M58D.SEF680.SEF680K.
細(xì)微形狀測走機(jī):
ET200,ET4000,ET10000
表面形狀,粗度測定機(jī):
DSF600.DSF900.
輪廓形狀測定機(jī):
EF550-G18,EF550-G18D,EF550-M50,EF550-M58,EF550-M58D,EF650,EF650D,REF100
真圓度,圓頭形狀測定機(jī):
EC600,EC1550H,EC1650H,EC1850H,EC2150,EC2500H,EC2700H,EC2500HF,EC2700
EC3300P,EC3600A,EC3600B,EC3600CEC4100H,EC5100H,EC6100



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