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半導(dǎo)體行業(yè)KOSAKA 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): ET200A重現(xiàn)性高
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


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KOSAKA小坂研究所,營業(yè)項(xiàng)目:自動(dòng)車光電半導(dǎo)體精密測(cè)定機(jī)器,表面粗度測(cè)定機(jī),微細(xì)形狀測(cè)定,輪廓形狀測(cè)定機(jī),真圓度測(cè)定/真圓度圓筒形狀測(cè)定機(jī)


營業(yè)項(xiàng)目適應(yīng)行業(yè):


表面粗糙度測(cè)量機(jī):使用鉆石或是激光光學(xué)測(cè)針、接觸(追蹤)加工件表面、測(cè)量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數(shù)。


微細(xì)形狀、臺(tái)階測(cè)量計(jì):FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細(xì)形狀、臺(tái)階、粗糙度測(cè)量


圓度、圓柱形狀測(cè)量機(jī):測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)、缸體、活塞、曲軸、軸承等,具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件,評(píng)估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度


輪廓測(cè)量機(jī):以測(cè)針追蹤加工部件外形測(cè)量出輪廓,分析出輪廓各部位的角度,半徑、間隔、臺(tái)階、段差等等



它是二維表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇,并實(shí)現(xiàn)了高精度、高分辨率和出色的穩(wěn)定性,也可用于具有微小測(cè)量功率的軟樣品表面。

  • ET200A???表面粗糙度分析及臺(tái)階測(cè)量的理想選擇
  • ET200A-D???配備電動(dòng)Y軸單元
  • ET200A-3D???適用于3D表面粗糙度分析和臺(tái)階測(cè)量
*大樣本量 Φ160× 厚度 52mm
再現(xiàn)性 1σ 0.3nm以下
測(cè)量范圍 Z:600μm X:100毫米
分辨率 Z:0.1納米 X:0.1微米
測(cè)量力 10μN(yùn)~500μN(yùn)





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