DF-250系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒內(nèi)（所有區(qū)域）實(shí)現(xiàn)低于50 SLM的響應(yīng)。
該系列提供高達(dá)500 SLM的高流量系列。

• 標(biāo)準(zhǔn)氣體用真實(shí)氣體校準(zhǔn)
  
• ~50 SLM在整個(gè)區(qū)域內(nèi)1秒內(nèi)快速響應(yīng)
  
• 從10SCCM到500SLM的陣容
  
• 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
• RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)

• DF-250C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

  傳感器方式		熱繞組傳感器
  閥門方式		比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉）
  目標(biāo)氣體（* 1）		N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未描述的氣體是N2當(dāng)量校準(zhǔn)）		空氣，N2
  流量范圍（* 2）		10 SCCM到10 SLM	20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM）	100,150 SLM	200,300 SLM	400,500 SLM（* 3）
  控制范圍		2~100％（F.S.）		5~100％（F.S.）
  響應(yīng)速度		總流量控制范圍在1秒內(nèi) （wihtin±2％F。S.）		1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短 （在±2％F。內(nèi)）	2秒或更短（±2％FS內(nèi)）
  		L：50.149kPa H：150.300kPa		L：150.249kPa H：250.350kPa	L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa
  精度（* 4）		±1.0%F.S.			±2.0%F.S.
  再現(xiàn)性		±0.25%F.S.			±0.5%F.S.
  工作壓差（* 5）		50至300千帕 （Ar，CO2：100至300 kPa）	100至300千帕 （Ar，CO 2：150至300 kPa）	150至350千帕	200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa	400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa
  *大入口壓力		500kPa(G)
  耐壓		980kPa(G)
  He泄漏率（* 6）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下		1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
  溫度	工作溫度	5～50℃
  	精度保證溫度	15～35℃
  	允許儲(chǔ)存溫度	-10～60℃
  允許工作濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
  氣體接觸材料		SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
  電氣連接		D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， RJ-45模塊化插孔x 2			D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， HR-10A×2
  流量設(shè)定信號(hào)		0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ）
  流量輸出信號(hào)		0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上）
  數(shù)字通信		使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：*多99（9600 bps）
  所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA	+15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA		24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub）
  接頭（* 7）		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4		1/2 SW（標(biāo)準(zhǔn)），3/4 SW
  安裝姿勢(shì)		推薦水平方向
  重量（* 8）		約850g	約1000g	約2250g	約3500g

  （* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。

  （* 2）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下轉(zhuǎn)換為質(zhì)量流量cc / min和L / min的值。

  （* 3）工作壓力范圍內(nèi)的輸出流量為1％或更低。

  （* 4）流量范圍的精度（*大滿量程）。

  （* 5）工作壓差可能因規(guī)格而異。

  （* 6）不含滲透。
  長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa·m3 / sec以下。

  （* 7）如需其他接頭，請(qǐng)另行詢問。

  （* 8）沒有配件的重量。

  （* 9）300 SLM，500 SLM將為L：250。299 kPa。