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MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號。

配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
采用常閉閥門，方向操作**
采用隔膜閥，減少死體積
F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
低壓差兼容燃?xì)饪刂?/span>（LP選項）

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方法		比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		1秒內(nèi)（±2％FS內(nèi)）
準(zhǔn)確性		±1％FS（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G）
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G）
		選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率（* 1）		1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度		0~50℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料		車身SUS316L
		隔膜SUS316
		閥座PTFE
電氣連接		Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號		0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號		0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA
配件（車身尺寸）		標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量		約1000g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

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**質(zhì)量流量控制器

MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗證。 它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號。