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日本KOSAKA小坂半導(dǎo)體設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào):半導(dǎo)體行業(yè)EC1650H圓度和圓柱形測(cè)量?jī)x器惠州
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來(lái),一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開(kāi)發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測(cè)量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


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KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

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KOSAKA小坂測(cè)量?jī)x配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量?jī)x

KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


合理的EC1650H充滿匠心,實(shí)現(xiàn)“高精度、快速”的測(cè)量


  • 高分辨率
  • 濾波器有 2CR 正常、2CR 和 Gausshan 相位補(bǔ)償類型
機(jī)制和方法 多孔靜壓空氣軸承,工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)精度 (0.02+0.0004H)μm
H: 距工作臺(tái)表面的高度 (mm)
*大測(cè)量直徑 內(nèi)外徑 φ368mm
垂直移動(dòng)量 300 毫米(帶 B 型觸控筆臂)


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