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MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。
它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開發(fā)的。

配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測方法，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)
我們不選擇緊湊的身體設(shè)置的地方

尺寸圖

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

模型	3760	3765
流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可選）	30SLM~100SLM（可選）
傳感器方式	熱繞組傳感器
響應(yīng)速度	在2秒內(nèi)	在3秒內(nèi)
準(zhǔn)確性	±1.0％FS（25°C）	±1.5％FS（25°C）
溫度系數(shù)	±0.1％FS /°C（15~35°C）	±0.2％FS /°C（15~35°C）
再現(xiàn)性	±0.5％F.S.（20°C）
耐壓	980kPa（G）
He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	5~45℃
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料	車身SUS316L
氣體接觸材料	密封材料FKM（選件CR或NBR）
電氣連接	Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量輸出信號	0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA
接頭（體型）	標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF）選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
重量	約800g	約1000g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

如果有任何關(guān)于KOFLOC小島流量計(jì)的疑問，請隨時與我們溝通

我們將盡全力解決您的問題。

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標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。 它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開發(fā)的。

尺寸圖

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。
它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開發(fā)的。