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流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式	熱繞組傳感器
準(zhǔn)確性	±1％F.S.（20°C）
溫度系數(shù)	0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性	±0.2%F.S.（20°C）內(nèi)
可工作壓力	300kPa（G）以下
耐壓	980kPa（G）
He泄漏率	1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C）
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無(wú)結(jié)露）
氣體接觸材料	車身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
電氣連接	Dsub 9針KFC　標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號(hào)	0~5 VDC（*小負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）100 mA
配件（車身尺寸）	標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效
重量	約800g

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KOFLOC小島流量計(jì)用于大流量的流量計(jì)MODEL RK1950 AP SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)樹脂制丙烯酸樹脂制流量計(jì)MODEL RK500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)樹脂制流量計(jì)MODEL RK20T SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)氣體混合專用流量計(jì)MODEL RK120XM SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于多個(gè)實(shí)驗(yàn)室中的**流量測(cè)量多流量計(jì)MODEL RK140X SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶針閥的多流量計(jì)MODEL RK120X SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于大流量的流量計(jì)MODEL RK2000?RK2005?RK2006 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于警報(bào)開關(guān) 帶光電傳感器的流量計(jì)MODEL RK1812?RK1814 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于警報(bào)開關(guān) 帶開關(guān)的流量計(jì)MODEL RK1970?RK1975?RK1976 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備吹掃流量計(jì)MODEL RK1000 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備帶針閥的吹掃流量計(jì)MODEL RK1600R SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備帶針閥的吹掃流量計(jì)MODEL RK1650 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低成本流量計(jì)MODEL RK1700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)緊湊型流量計(jì)MODEL RK1710 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低泄漏流量測(cè)量控制用波紋管針閥流量計(jì)MODEL RK1500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低壓損流量計(jì)MODEL RK130/230/260 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)可更換錐形管的簡(jiǎn)易流量計(jì)　柔性流量計(jì)MODEL RK1100 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于**的流量測(cè)量控制裝備有精密針閥的流量計(jì)MODEL RK1200 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體用恒定流量閥MODEL 2600-PPS

KOFLOC小島流量計(jì)不受供應(yīng)側(cè)壓力波動(dòng)影響的一次壓力波動(dòng)型氣體流量控制器MODEL 2204 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)簡(jiǎn)易多旋轉(zhuǎn)型適用于大流量的簡(jiǎn)易針閥MODEL 2400D SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)精密加工旋轉(zhuǎn)式針閥【禁油規(guī)格（無(wú)油脂）】MODEL 2420 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體用恒定流量閥MODEL 2600 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)根據(jù)設(shè)定刻度控制流量附多刻度盤精密針閥MODEL 2412M SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)非旋轉(zhuǎn)式針精密閥門精密針閥MODEL 2412 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)穩(wěn)定控制大流量大流量精密針閥MODEL 2412D SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)面板固定迷你型簡(jiǎn)易針閥MODEL 2400/2400A SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)不受出口側(cè)壓力波動(dòng)的影響適用于二次壓力波動(dòng)型氣體的流量控制器MODEL 2203 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)小型比例電磁閥MODEL 3000 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)背壓閥MODEL 6800 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6610 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專用調(diào)節(jié)器大流量專用壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專用精密調(diào)節(jié)器壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6600 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體專用流量計(jì)超音波流量計(jì) FML-500

KOFLOC小島流量計(jì)低成本數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)MODEL D3810 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)**金屬密封質(zhì)量流量控制器MODEL 5100 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)**質(zhì)量流量控制器MODEL 3200 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量控制器/計(jì)量器MODEL D8500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF300DF550DF200DF250

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)MODEL DF-350C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)EX-250SEX-550 EXE-FLOWTM MODEL EX-700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表EX-700EX-250S MODEL EX-550 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 液體專用小型卡門渦街流量計(jì)FM31（聚四氟乙烯：PFA） SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低成本質(zhì)量流量傳感器 MODEL 3810S SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體專用小型卡門渦街流量計(jì)FM01 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器，適用于高流量 HFC-303 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 小巧讀出裝置 MODEL CR-400B

KOFLOC小島流量計(jì)液體專用流量控制器FCL-200

KOFLOC小島流量計(jì) 帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF550DF200DF250 MODEL DF-300C SERIES

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KOFLOC小島流量計(jì) 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF200DF250 MODEL DF-550C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF550DF250 MODEL DF-200C SERIES

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