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KOFLOC小島低成本金屬密封質(zhì)量流量計(jì) MODEL 5410 SERIES
產(chǎn)品型號(hào)：MODEL 5410 湖州
產(chǎn)品品牌：KOFLOC小島
產(chǎn)品介紹：

科賦樂(lè)從創(chuàng)業(yè)至今已有60 多年的歷史，深入挖掘人類的智慧，不斷深入技術(shù)**，尤其在氣體的測(cè)量、控制方面贏得社會(huì)各界的信賴近年來(lái)，又開發(fā)出液體測(cè)量控制方面的新設(shè)備，作為流體（氣體液體）界專家的科賦樂(lè)，重視匠人的精神，貼近客戶的需求，以創(chuàng)建豐富的地球環(huán)境為目標(biāo)不斷迎接挑戰(zhàn)。
詳細(xì)介紹

低成本金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

MODEL 5410 SERIES


5410型是一種質(zhì)量流量計(jì)，具有進(jìn)一步改進(jìn)的基本性能。
雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動(dòng)方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是一種通過(guò)金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

  • 提高每個(gè)流量范圍的精度
  • 適用于微流量（選項(xiàng)規(guī)格）
  • 由于無(wú)焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
  • 價(jià)格便宜

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍
（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） 		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式 熱繞組傳感器
準(zhǔn)確性 ±1％F.S.（20°C）
溫度系數(shù) 0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.（20°C）內(nèi)
可工作壓力 300kPa（G）以下
耐壓 980kPa（G）
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度 0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C）
允許環(huán)境濕度 10~90%RH（無(wú)結(jié)露）
氣體接觸材料 車身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
電氣連接 Dsub 9針KFC　標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定
輸入信號(hào) 		0~5 VDC（*小負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源 +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（車身尺寸） 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效
重量 約800g

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
有關(guān)MFC規(guī)格，請(qǐng)單獨(dú)查詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列







如果有任何關(guān)于KOFLOC小島流量計(jì)的疑問(wèn)，請(qǐng)隨時(shí)與我們溝通

我們將盡全力解決您的問(wèn)題。

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