株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門(mén)。其中測(cè)定部門(mén)為具代表性單位且在日本精密測(cè)定業(yè)占有一席無(wú)法被取代的地位。
設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能基板、薄膜磁頭及磁盤(pán)、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
KOSAKA小坂粗糙度儀，粗度計(jì)，粗度儀
KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)
KOSAKA小壇輪廓儀
KOSAKA小坂臺(tái)階儀，膜厚儀，薄膜測(cè)厚儀KOSAKA小坂圓度儀，真圓度儀，圓柱度儀
KOSAKA小坂測(cè)量?jī)x配件
KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測(cè)量裝置
KOSAKA小坂微細(xì)深孔測(cè)量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測(cè)裝置
KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測(cè)量?jī)x
KOSAKA小坂探針卡檢測(cè)設(shè)備
KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)
KOSAKA小坂傳感器
KOSAKA小坂研究所，營(yíng)業(yè)項(xiàng)目：自動(dòng)車(chē)光電半導(dǎo)體精密測(cè)定機(jī)器，表面粗度測(cè)定機(jī)，微細(xì)形狀測(cè)定，輪廓形狀測(cè)定機(jī)，真圓度測(cè)定/真圓度圓筒形狀測(cè)定機(jī)
營(yíng)業(yè)項(xiàng)目適應(yīng)行業(yè)：
表面粗糙度測(cè)量機(jī)：使用鉆石或是激光光學(xué)測(cè)針、接觸（追蹤）加工件表面、測(cè)量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來(lái)分析粗糙度參數(shù)。
微細(xì)形狀、臺(tái)階測(cè)量計(jì)：FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細(xì)形狀、臺(tái)階、粗糙度測(cè)量
圓度、圓柱形狀測(cè)量機(jī)：測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)、缸體、活塞、曲軸、軸承等，具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件，評(píng)估圓度、圓柱度、直線(xiàn)度、同軸度等形狀精度
輪廓測(cè)量機(jī)：以測(cè)針追蹤加工部件外形測(cè)量出輪廓，分析出輪廓各部位的角度，半徑、間隔、臺(tái)階、段差等等
配備分析宏，支持復(fù)雜分析工作的省力化。
-
它是一種具有高度便攜性和安裝自由度的測(cè)量機(jī)。
-
通過(guò)實(shí)時(shí)輸出功能，可以獲得測(cè)得的放大形狀數(shù)據(jù)。
-
通過(guò)連接到輪廓形狀分析系統(tǒng)，可以進(jìn)行更**的分析。
|
測(cè)量精度
|
Z：±（2.5+0.5×|H|） μm以下 H：位移 （mm） X：± （2.5 + 0.02 L） μm 以下 L：測(cè)量長(zhǎng)度 （mm）
|
|
分辨率
|
Z：0.25 μm X 刻度：0.1 μm
|
|
采樣次數(shù)/*小間隔
|
*大 64,000 點(diǎn) / *小 0.5μm
|
|
測(cè)量范圍
|
Z：30毫米 X：50毫米
|
|
顯示放大倍率
|
垂直（Z）、水平（X）：1~2,000次
|