A 系列微型 XRF 專為**測量半導體和微電子領域中*小的 X 射線特征而設計。 它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓,以實現(xiàn)完整的樣品覆蓋和多點可編程自動化。
Bowman 的 A 系列使用多毛細管光學器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM,這是使用 XRF 儀器進行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機用于測量該比例的特征; 它配有一個輔助低放大倍率相機,用于實時查看樣品和鳥瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統(tǒng)讓操作員可以看到整個零件,單擊圖像以使用高倍率攝像頭進行縮放,并**定位要編程和測量的特征。
可編程 XY 平臺在每個方向上移動 23.6 英寸(600 毫米),可以處理
業(yè)內(nèi)*大的樣本。 該平臺的每個軸的精度小于 +/- 1 μm,并且是
用于選擇和測量多個點; Bowman 模式識別軟件和自動對焦
功能也會自動執(zhí)行此操作。 該系統(tǒng)的內(nèi)置模式識別可用于查看零件(例如硅晶片)上涂層的形貌。
元素測量范圍: | 13號鋁元素 到 92號鈾元素 |
X射線管: | 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選:Cr 或 W |
探測器: | 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器 |
分析層數(shù) 及元素數(shù): |
5 層(4 層 + 基礎),每層 10 個元素。 同時分析多達 25 種元素的成分 |
濾波器/準直器: | 4位置一次濾波器 |
輸出焦深: | 固定為0.08英寸(2.03毫米) |
數(shù)字脈沖處理: | 具有靈活整形時間的 4096 CH 數(shù)字多通道分析儀。 自動信號處理,包括死區(qū)時間校正和逃逸峰校正 |
計算機: | Intel,CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz),16GB RAM,Microsoft Windows 10 Prof,64 位 |
相機: | 1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率 |
視頻放大倍率: | 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View |
電源: | 720W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz |
重量: | 1000kg(2200磅) |
工作環(huán)境: | 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝 |
可編程XYZ平臺: |
XYZ行程:600毫米(23.6英寸)x 600毫米(23.6英寸)x 100毫米(3.9英寸) XY桌面:560mm(22“)x 585mm(23”) X & Y 軸精度:1um (40u”) Z軸精度:1um (40u”) |
樣品倉尺寸: | 高度:100mm(4"),寬度:1400mm(55"),深度:1470mm(58") |
外形尺寸: | 高度:1780mm(70"),寬度:1470mm(58"),深度:1575mm(62") |
其他新特征: | Z 保護陣列、自動對焦、聚焦激光、圖案識別、Semi S2 S8 兼容就緒 |
X射線管 | G系列 | B系列 | P系列 | L系列 | K系列 | O系列 | M系列 | W系列 | 一系列的 |
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陽極靶材 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 | 鎢/鉻/鉬/銠 |
X射線照射方式 | 由下往上 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 | 由上往下 |
探測器 | |||||||||
SDD硅漂移探測器 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
大窗口硅漂移探測器 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 |
光斑尺寸 | |||||||||
單個準直器 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 |
多個準直器 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
毛細管光學結(jié)構(gòu) | 無 | 無 | 無 | 可選 | 即將推出! | 80um | 15um | 7.5um | 7.5um |
焦距 | |||||||||
聚焦激光/自動聚焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
單個固定焦距 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
可變焦距 | 無 | 可選 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
視頻放大倍率 | |||||||||
30X 微型 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 無 | 無 | 無 | 無 |
55X 微型 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 可選 | 普通 | 無 | 無 | 無 |
140X 微型 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
7倍數(shù)碼變焦 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 | 普通 |
9X 微距 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
表格檢視 | 無 | 無 | 無 | 可選 | 可選 | 無 | 普通 | 普通 | 普通 |
平臺&外形尺寸 | |||||||||
Z軸控制方式 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 自動表 | 可編程 | 可編程 |
Z軸行程 | 1" | 5.2" | 5.2" | 10" | 9" | 5.2" | 5.2" | 3.9" | 3.9" |
基值 | 無 | 固定 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 | 可編程 |
標準XY行程 | 無 | 無 | 5 × 6" | 10 × 10" | 12 × 12" | 5 × 6" | 6.5 × 6.5" | 12 × 16" | 23 × 23" |
可選XY行程 | 1.5 × 1.5" | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 10 × 10" | 無 | 無 | 無 |
可選的Max XY Travel | 無 | 無 | 16 × 16" | 無 | 無 | 16 × 16" | 16 × 16" | 無 | 無 |
平臺精度 | 無 | 無 | 0.0004" | 0.0004" | 0.0002" | 0.0004" | 0.0001" | 40u” | 40u” |
樣品倉尺寸(高*寬*深) | 4x13x12“ | 5.5x12x13“ | 5.5x12x13“ | 11x22x24“ | 24x24x9“ | 5.5x12x13“ | 5.4x12x13“ | 4x29x36“ | 4x55x58“ |
總重量 | |||||||||
25kg | 34kg | 52-70kg | 110kg | 120kg | 52-70kg | 70kg | 190kg | 1000kg |