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代理銷售:HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀、HITACHI日立科學(xué)儀器光譜儀、OTSUKA大塚電子、MIKASA勻膠機(jī)、yamada山田鹵素強(qiáng)光燈、KOFLOC小島流量計(jì)、REVOX光箱、日本SSD防靜電、HITACHI日立金屬流量計(jì)、SIBATA柴田科學(xué)、日本ULVAC愛發(fā)科泵、CEDAR思達(dá)扭力計(jì)、TORAY東麗氣體濃度計(jì)、KOSAKA小坂臺階儀、TOKYOKEISO東京計(jì)裝流量計(jì)、AND愛安德、RYUKI東京流機(jī)流量計(jì)、IMV愛睦威地震儀、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、MITAKA三鷹光器、日本KURABO倉紡濃度計(jì).
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日本MIKASA米卡薩株式會社:勻膠機(jī),顯影、涂布機(jī)、旋涂機(jī)、光刻機(jī)
日本MIKASA米卡薩株式會社:勻膠機(jī),顯影、涂布機(jī)、旋涂機(jī)、光刻機(jī)提供技術(shù)支持!
日本MIKASA米卡薩株式會社 日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī),真空泵日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗怖機(jī),真空泵日本MIKASA株式會社中國代理: MIKASA光刻機(jī).旋轉(zhuǎn)塗鈽機(jī),真空泵 半導(dǎo)體制造工序中的Mikasa半導(dǎo)體設(shè)備
晶園、洗滌**晶園表面的臟污及
各種金屬離子、成膜
在高溫?cái)U(kuò)散爐中,形成、表面氧化膜
電路圖案設(shè)計(jì)、運(yùn)用CAD制作布局、布線
設(shè)計(jì)圖。制作光掩膜
將電路圖案沖印到中間掩、模上(原版照片)
光刻膠涂布、將光刻膠(感光材料)涂抹到晶
圓表面,形成厚度均一的薄膜。
旋轉(zhuǎn)涂膜儀(P4~P11) 將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路
圖案。
光刻機(jī)(P13~P15)
可選組件
顯影、去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
顯影裝置(P17. 18)、蝕刻
通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路。
蝕刻裝置(P19)
離子注入/濺射
向晶園注入離子(混雜物)
滴液裝置可選組件 吸盤
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密閉型)
●MS-B300 (密閉型)
日本MIKASA光刻機(jī)
MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路圖案。
日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-A150/MS-B150現(xiàn)貨現(xiàn)貨旋轉(zhuǎn)涂膜儀
去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000
日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置
●ED-1200
●ED-3000
日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時盡早應(yīng)對,且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程。將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜。
日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。
日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī)
MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
MS-B200
密閉型MS-B300
密閉型MA-20
MA-10B
MA-60F
M-2LF
M-1S
AD-1200
AD-3000
ED-1200
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