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KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自動臺階儀:半導(dǎo)體銷售中心

KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自動臺階儀:半導(dǎo)體銷售中心

全自動三次元微細形狀測定機(探針接觸式臺階儀) 株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司，為日本**家發(fā)表表面粗糙度計的廠商，株式會社小坂研究所KOSAKA具有悠久歷史與專業(yè)的技術(shù)背景。公司主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
株式會社小坂研究所KOSAKA于 1970 年首度推出 ET 系列膜后測量機，面向半導(dǎo)體、面板、學(xué)校、科研等單位??供納米等級的高精度測量儀器。并于 2004 年推出針對大型面板尺寸訂制的全自動微細形狀測定機。

株式會社小坂研究所KOSAKA探針接觸式微細形狀測定機(表面輪廓臺階儀)

KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自動臺階儀:半導(dǎo)體銷售中心臺階儀主機特點:
l 一體花崗巖結(jié)構(gòu)330kg設(shè)備本體搭配直動式傳感器，可實現(xiàn)**的臺階再現(xiàn)性與線性度。 l 超高直線度保證，可確保量測圖形不受移動軸影響，并可在保證直線度的前??下長距離
量測，同時解析表面翹曲度、波紋度、內(nèi)應(yīng)力等。
l 采用超低噪音直動式傳感器 LVDT(差動變壓器)，超低測定力的觸針可對應(yīng)各類型樣品
表面。
l 配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量，實時觀測測量過程。
l 中文化軟件除臺階分析外并具有粗糙度解析功能
l 適用于各種與微米、納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄
膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等的膜厚、臺階、段差測量。

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